Samsung DRAM

韓国サムスンは、初めてEUV(極端紫外線)による露光技術を採用したDDR4 DRAMモジュールを100万枚出荷したと発表しました。

新しいDDR4 DRAMモジュールは10nmのEUV露光技術を採用しており、これによりスケーリング(微細化)の課題とされていたマルチパターニングの繰り返しを削減し、精度を向上させることで、性能や歩留まり、開発期間の短縮が可能になるとしています。

サムスンによれば、EUVベースのDDR4 DRAMモジュールはプレミアム市場のPCやモバイル製品、エンタープライズサーバー、データセンターなどでの採用が期待されるそうです。

さらにサムスンは、来年の量産が予定されるDDR5/LPDDR5 DRAMにもEUV技術を採用します。同社は次世代のプレミアムDRAM製品の需要拡大を見越して、韓国の平沢にある第2半導体製造ラインを今年後半にも稼働させる予定です。